TY  - RPRT
TI  - Analysis of dimensional metrology standards 
AU  - Evans, John
AU  - Frechette, Simon
AU  - Horst, John
AU  - Huang, Hui
AU  - Kramer, Thomas
AU  - Messina, Elena
AU  - Proctor, Fred
AU  - Rippey, Bill
AU  - Scott, Harry
AU  - Vorburger, Ted
AU  - Wavering, Al
PY  - 2001
PB  - National Institute of Standards and Technology
CY  - Gaithersburg, MD
SN  - NIST IR 6847
DO  - 10.6028/NIST.IR.6847
ER  -