TY - RPRT TI - Nanolithography Toolbox AU - Ilic, Robert R. AU - Coimbatore Balram, Krishna AU - Westly, Daron A. AU - Davanco, Marcelo I. AU - Grutter, Karen E. AU - Li, Qing AU - Michels, Thomas AU - Ray, Christopher H. AU - Yu, Liya AU - Bertrand, Neal A. AU - Stavis, Samuel M. AU - Aksyuk, Vladimir A. AU - Liddle, James Alexander A. AU - Bryce, Brian A. AU - Lobontiu, Nicolae AU - Liu, Yuxiang AU - Metzler, Meredith AU - Lopez, Gerald AU - Czaplewski, David AU - Ocola, Leonidas AU - Neuzil, Pavel AU - Svatos, Vojtech AU - Krylov, Slava AU - Wallin, Christopher B. AU - Gilbert, Ian J. AU - Dill, Kristen A. AU - Kasica, Richard J. AU - Srinivasan, Kartik A. AU - Simelgor, Gregory AU - Topolancik, Juraj PY - 2016 PB - National Institute of Standards and Technology SN - NIST HB 160 DO - 10.6028/NIST.HB.160 ER -